基本 微小電子機械システム (Micro Electro Mechanical Systems) : Electro + Mechanicalがポイント 微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのこと 製品応用例 スマートフォン等モバイル機器に用い…