基本
- 微小電子機械システム (Micro Electro Mechanical Systems) : Electro + Mechanicalがポイント
- 微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのこと
- 製品応用例
- スマートフォン等モバイル機器に用いられるモーションセンサ
- 自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ
- 光通信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイス
- 原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー
- 無線通信機器などに用いられるRF MEMSスイッチ