IT Guy

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MEMSとは

基本

  • 微小電子機械システム (Micro Electro Mechanical Systems) : Electro + Mechanicalがポイント
  • 微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのこと
  • 製品応用例
    • スマートフォン等モバイル機器に用いられるモーションセンサ
    • 自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ
    • 光通信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイス
    • 原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー
    • 無線通信機器などに用いられるRF MEMSスイッチ

参考リンク

各メーカーサイト

www.st.com