IT Guy

IT、Project Management、IoT、プログラミング、ITIL等々

MEMSとは

基本

  • Micro Electro Mechanical Systems : Electro + Mechanicalがポイント
  • 微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのこと
  • 製品例
    • スマートフォン等モバイル機器に用いられるモーションセンサ
    • 自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ
    • 光通信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイス
    • 原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー
    • 無線通信機器などに用いられるRF MEMSスイッチ

参考リンク